スラリーリサイクルシステム

スラリーリサイクルシステム概要

半導体ウェーハ、ガラス基板の製造コストダウンにスラリーリサイクルシステムを!

半導体ウェーハやガラス基板、水晶基板のラッピング、ポリッシング加工において、廃棄されるスラリーから切粉と
加工破片を除去すれば、そのスラリーは充分再使用可能です。しかしながら現状では、その除去が難しく、ラッピング、
ポリッシング性能・加工精度維持のため、一度使用したスラリーは、廃棄されております。
これが、ラッピング、ポリッシング加工のコストを上げ、多量の産業廃棄物排出問題を起こしています。
サイクロンによるスラリーリサイクルシステムは、加工破片と切粉を効率よく除去、50〜80%の砥粒粉を回収でき
コストダウンと廃棄物削減に貢献します。

※ 回収率は研磨盤での使用バッチ回数で変動します。

現状

研磨材使用の現状

装置導入後

装置導入後の研磨材リサイクル状況

システムフロー(特許取得済)

村田工業のスラリーリサイクルシステムは液体サイクロンを使用しているため、構造が簡単で少スペース、安価な装置です。
研磨材リサイクル・システムフロー

コストメリット

スラリーリサイクルシステムを導入すれば以下の様なコストメリットが生まれます。

メリット試算

(研磨材消費量10t/年、研磨材単価500円/kg、廃棄物処理費40千円/t、回収率65%、スラリー濃度20wt%とした場合)
  研磨材購入費 廃棄物処理費 合 計
現 状 5000千円 2000千円 7000千円
装置導入後 1750千円 1500千円 3250千円
差 額 -3250千円 -500千円 -3750千円

イメージチャート

イメージチャート
*研磨材消費量、導入装置仕様にもよりますが、平均1〜2年程度で投資回収ができます。

リサイクルシステムの精度

村田工業のスラリーリサイクルシステムは研磨廃液より高精度にリサイクル可能な研磨材を取出す事ができます。

AZ#1500回収テストでの粒度分布測定結果

●研磨廃液
研磨廃液
●廃棄スラリー
廃液スラリー
●新砥粒
新砥粒
●回収スラリー
回収スラリー
  粒度分布(µm)SEISHIN LMS-30
  D10 D50 D100
研磨廃液 1.317 3.850 7.833
廃棄スラリー 0.870 1.626 3.250
回収スラリー 4.122 6.206 9.288
新砥粒 3.840 6.527 10.883

導入事例

社名 ワーク 目的
A社 水晶ウェーハ ラップ、ポリッシング廃液回収
B社 LCDガラス基板 ポリッシング廃液回収
C社 HDガラス基板 ラップ廃液回収
D社 光学レンズ ポリッシング廃液回収
E社 シリコンウェーハ ラップ廃液回収
F社 ガリウムウェーハ ラップ廃液回収
*上記以外にも水晶発振子、ガラス業界を中心に多くのお客様に使用していただいております。

装置例

水晶発振子メーカー様向けラッピングスラリーリサイクルシステム

水晶発振子メーカー様向けラッピングスラリーリサイクルシステム

回収対象研磨材 GC#1000
処理流量 2.5L/min
外形寸法 W2100×D1200×H2100
重 量 800kg
上記はほんの一例であり、実際には処理流量、タンク容量など打合せにて仕様を決定し製作いたします。

導入までの流れ

1.御相談
廃液の状態や希望処理量などをお聞します。

2.回収テスト
テスト装置にて実際にお客様の廃液をサイクロンに通し
研磨テスト用のリサイクルスラリーを作ります。

3.研磨テスト
リサイクルスラリーをお客様の研磨盤に投入し、
スクラッチ率や研磨レートを検証していただきます。

4.システム御提案、見積
御相談やテスト時に選定した条件を元にシステムの御提案、見積、細部の打合せを行います。

5.導入決定

6.製作
コマーシャル品の在庫状況にもよりますが、およそ2〜3ヶ月程度かかります。

7.納品
希望により納品前試運転、設置試運転も行います。